New Optics
        - 니콘의 CFI60 광학과 선명하고 깨끗한 이미지를 생성

        - 높은 Contrast와 최소한의 Flare 현상.

        - 긴 작동거리(W.D)에 의한 구동범위 내에서 안전 웨이퍼 검사가 가능

        - Darkfield는 과거에 비해 비율이 3배 더 높으며 High Imaging을 보장

새롭게 디자인 된 DUV 현미경

        - 새로 설계된 DUV 현미경 모듈은 90nm의 미래 설계 규칙을 지원

Review inspection with ADC 

        - 최첨단 영상 처리 및 분석 기술은 정확한 결함 검출을 보장

        - 사용자 친화적인 소프트웨어는 쉽게 설치 및 운영이 가능

LOADER PORT 위치의 유연성

        - 2개의 Load Port는 다양한 공장 Layout과 300mm 공장 자동화 요구 사항 대응

        - 장비의 측면과 후면으로 변경 사용이 가능

고성능 조명, 3가지Mode의 Macro검사

        - Surface Macro Inspection, Edge Inspection, Backside Macro Inspection

        - 개발된 (WIL-100) 라인 (LIL-100) 조명 장치는 파장과 조명을 제공

        - 다양한 공정 결함을  검출하기 위해 개발

                                         

                                         1. Surface macro inspection         2. Edge macro inspection            3. Backside Macro inspection

고화질 촬상 및 이미지 분석, 길이 측정 시스템