Laser Marking MicroscopeNLB-4540MO
개요
레이저마킹현미경 [NLB-4540MO]는 고출력 ND YAG Laser 발진기와 현미경광학계,
고정도 XYZ Stage가 결합된 장비로, 반도체/ Flat Panel Display 등의 Application에 사용되는 웨이퍼 및 글래스판넬용 정밀마킹 및 가공 현미경입니다.
현미경 NUV대물렌즈를 통한 가공용 YAG Laser를 Sample상에 조사하여,
사용자가 지정하고자 하는 정확한 위치로의 마킹이 가능합니다.
이와 함께, 대물렌즈/동축조명/투과조명/관찰용 카메라를 통해 명시야(Blight Field)
현미경 관찰이 가능합니다.
본 장비에 적용된 ND YAG Laser는 LCD생산공정에서, Pattern가공 및 마킹의
목적으로 주로 사용되어지면서, 충분한 검증이 완료된 고성능/고출력 Laser System입니다.
특징
【기대 효과】
레이저마킹현미경 [NLB-4540MO]의 도입에 의해
연구개발/생산공정 진행 중에 발생되는 불량에 대한 육안검사 및 이미지분석이 가능하며,
현미경검사 중 추후 정밀분석을 위한 위치마킹 및 배선가공이 가능하기 때문에, 공정상의 패턴 검사/가공 목적으로의 여러 활용이 가능해집니다.

스펙






