이온 코터 SPT-20은 DC 스퍼터링(직류 스퍼터링) 원리를 이용해 시료 표면에 전도성 금속(Au, Pt, Pd, Pt-Pd)을 코팅하는 장비입니다. 비전도성 시료도 전자현미경 관찰을 위해 코팅이 필요하며, 코팅층은 전자빔 주입으로부터 시료 표면을 보호하고 전하(전자) 흐름을 원활하게 해줍니다. 또한 박막 형태의 전극 형성 용도로도 사용할 수 있습니다.

• 디지털 이온 코터

• 진공 코팅: 원터치로 대기압(정상 압력)까지 복귀 가능한 코팅 시스템

• 코팅 전류 피드백 기능을 통한 안정적인 코팅

• 다양한 금속 타깃(타겟) 사용 가능

• 저노이즈 로터리 펌프 사용