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3D Measuring System

[고정밀도] VMZ-H3030

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CNC Video Measuring System (NEXIV)[고정밀도] VMZ-H3030

개요
0.6um의 가장높은 정밀도, 빠른 속도, 다양한 기능

Nikon의 비접촉3차원 측정기 NEXIV는 광학 줌헤드를 기반으로

다양한 시편의 배율, 시편의 크기 등에 유연하게 대응 할 수 있습니다.

높은 스테이지 정확도와 측정 정밀도는 빠르게 측정하기 위한

장비의 기본 밑바탕이 됩니다.

측정 이외에도 자동 이미지 병합, EDF, 3D 프로파일러 등 

다양한 기능을 구성하여 범용적으로 사용 할 수 있습니다.


VMZ-H3030 은 0.6um의 초고정밀도의 제품 입니다.

특징

최고의 측정 정밀도




VMZ-H3030.jpg



 주요특징


  - X,Y,Z STROKE : 300 X 300 X 150 (mm)


  - 한국어 지원


  - 15배 고속 줌 렌즈


  - 5가지 유형의 광학 줌 헤드 (Type 1, 2, 3, 4 ,TZ)


  - 0.1mm의 투명 레이어 감지


  - 3개의 입사각을 갖는 8분할 링 조명


  - 높은 스테이지 정확도, 측정 정밀도


  - 빠른 처리 속도


  - 다양한 기능




표준 배율 줌 헤드 : Type 1, 2, 3




1.jpg

 

   표준 배율의 줌 헤드 타입 1,2,3은 Nikon 15x 렌즈가 장착된 장비 입니다. (NA : 0.35)


   37º, 55º, 78º  의 입사각을 갖는 링조명이 장착 되어 있으며, 


   링조명은 내부 링조명, 외부 링조명을 조합하여 사용할 수 있습니다.


   메인 LED 동축(반사/투과) 조명을 포함하여 다양한 샘플에 대응 할 수 있습니다. 

 


수정됨_T 123.jpg


 



고배율 줌 헤드 : Type 4, TZ



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   고배율의 줌 헤드 타입 4, TZ 는 Nikon 15x 및 120x 렌즈가 장착된 장비 입니다. (NA : 0.46)


   Type4에는 50º 링조명이 장착 되어 있으며, 


   TypeTZ의 경우에는 암시야 기능을 갖추고 있습니다.


   고배율 타입 또한 메인 LED 동축(반사/투과) 조명을 사용하여 다양한 샘플에 대응 할 수 있습니다. 

TYPE 4


T 4.jpg

수정됨_4 FOV.jpg

TYPE TZ



 수정됨_TZ.jpg

수정됨_TZ FOV.jpg




 


TTL LASER AF 방식


  - 50mm 작업거리 (W.D)


  - 반복 정밀도 0.5um


  - 자동 초점


  - 자동 초점 시간 : 0.5초


  - 레이저 스캐닝 기능


  - 레이저 스팟 사이즈 : 10um


TTL.jpg


 


다양한 조명 환경 제공


  - 동축 LED 조명


  - 내측/외측 LED Ring 조명


  - 투과 LED 조명



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스펙


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