백색 간섭 현미경 시스템

평균화 또는 필터링 프로세스 없이 매끄러운
표면의 최소 분해능 1pm Height Resolution
측정을 실현 광범위한 배율에서 동일한 높이 분해능으로 측정

활성화 측정 모드나 광학 필터를 변경없이, 매끄러운 표면과 거친 표면 측정가능
전체 초점 합성 방식의 시스템으로 고객의 편의 기능