Compact Microscope (NUV/DUV Tube Lens)MS-200-DUV (266nm~640nm)
개요
MS-200-DUV는 MS-200 시리즈의 심자외선(DUV) 대역 대응을 목표로 설계된 컴팩트 동축(코액시얼) 관찰/검사 모듈입니다. DUV용 대물렌즈와의 조합을 전제로, 짧은 파장에서 요구되는 광학 재질·코팅 최적화를 통해 고해상도 표면 관찰 및 패턴/결함 검사에 적합하며, 장비 내부 인라인 탑재(OEM 통합)에 유리한 일체형 구조로 구성됩니다.
특징
스펙