본 장비는 EFEM 기반의 300mm 웨이퍼 검사 시스템으로, 좌측 메인 챔버에 니콘 NEXIV 계측/검사 모듈을 탑재하고, 우측에는 Load Port(FOUP), 로봇 암(이송 로봇), Pre-Aligner(웨이퍼 방향 정렬), OCR 등 전면 이송·정렬·인식 기능을 통합한 구조입니다.

EFEM에서 웨이퍼를 자동 반출입하며, 프리얼라이너를 통해 노치/플랫 기준으로 웨이퍼 방향 및 중심을 재정렬한 뒤 NEXIV로 안정적으로 투입하여 반복 정밀도와 처리 안정성을 확보합니다.