반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND
- 고휘도 반사 투과조명
- 고배율 고해상도 샘플관찰
- 모터라이징 시스템
반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경
관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화
FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 Line-up 구성
현미경 스테이지
L200N / 200ND 스테이지 - 측정거리 : 200 x 200mm (8" x 8") (6인치 / 8인치 웨이퍼 대응) |
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L300N / 300ND 스테이지 - 측정거리 : 350 x 300mm (14" x 12") (12인치 웨이퍼 대응) |
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대물렌즈 : CFI60-2
- 높은 NA와 긴 작동거리 - 1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x 의 다양한 렌즈 - 색수차 보정의 향상 |
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환경대응력 및 조작성 향상
초점 잡기가 편리한 Focus-Target 내장 Focus-Target을 광로에 삽입하여 Bear Wafer 등의 패턴이 없는 샘플관찰시에도 쉽고 빠르게 초점을 잡을 수 있습니다.
본체 전면부 중심에 조작부 배치 - 스테이지 핸들, 포커스 핸들, 배율전환 버튼 등 모든 조작부가 현미경 전면부에 배치 - 장시간 사용시 작업자 피로도를 최소화한 디자인 설계 |
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다양한 관찰 지원