해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다.
고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다.
i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다.