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3D Measuring System

Lasertec Confocal Microscope HYBRID+

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Interferometer / Confocal MicroscopeLasertec Confocal Microscope HYBRID+

개요
Lasertec Confocal Microscope

백색광과 405nm Laser 2가지의 광원을 사용한 HYBRID CONFOCAL


Xenon Lamp와 405nm 파장대의 Laser 2가지의 광원을 채용하여 보다 넓은 영역대의 측정이 가능한 세계 최초 HYBRID Confocal 현미경입니다.

특징

고배율 / 고해상도 이미지 관찰(Laser Confocal Mode)

405nm 파장대의 Laser 광원에 의한 고해상도 관찰이 가능


si.JPGsodium.JPGsolar.JPG




1.6배의 넓은 F.O.V(Field Of View)로 검사효율 향상

동일한 대물렌즈 사용 시 일반 레이져 컨포칼 대비 약 1.6배의 F.O.V 관찰

1.6x.JPG




고해상도의 Color Confocal 관찰

태양광 파장에 가장 근접한 Xenon 광원을 사용

Color Confocal 방식이기에 가능한 높은 색 분해능의 고해상도 컬러 이미지 취득


color.JPG



나노 레벨의 형상 관찰

Confocal과 DIC(미분간섭) 광학계 조합으로 미세한 형상 구조를 High Contrast로 관찰(Option)


dic.JPG



편리한 측정기능

높이측정(Height)

■정밀도 : ±( 0 .11+ L/100)μm

■재현성 : σ = 0.01μm


높이측정.JPG



표면조도(Surface Roughness)

JIS, ISO 규격에 의거한 표면조도 측정

비접촉 방식으로 샘플의 재질에 상관없이 측정이 가능

■2차원 조도 : Ra, Rz, Rp, Rv… 등

■3차원 조도 : Sa, Sz, Sp, Sv… 등


조도.JPG


조도2.JPG



선폭측정(Width and Pitch)

업계 최고 수준의 정밀도 및 재현성 실현

■정밀도 : ±[0.02x(100/대물렌즈 배율)+L/1000]μm

■재현성 : 3σ = 0.01μm


line.JPG



표면형상 분석 및 측정(Analysis of geometric properties)

면적, 체적, 표면적 등 20여 항목이 넘는 기하 측정이 가능


표면형상.JPG



6파장 선택 기능(Option)

6가지 파장에서 샘플에 최적의 파장을 선택하여 관찰

436nm, 486nm, 514nm, 546nm, 578nm, 633nm의 6파장


6파장.JPG


6파장택.JPG


스펙



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