고배율 / 고해상도 이미지 관찰(Laser Confocal Mode)

405nm 파장대의 Laser 광원에 의한 고해상도 관찰이 가능

1.6배의 넓은 F.O.V(Field Of View)로 검사효율 향상

동일한 대물렌즈 사용 시 일반 레이져 컨포칼 대비 약 1.6배의 F.O.V 관찰

고해상도의 Color Confocal 관찰

태양광 파장에 가장 근접한 Xenon 광원을 사용

Color Confocal 방식이기에 가능한 높은 색 분해능의 고해상도 컬러 이미지 취득

나노 레벨의 형상 관찰

Confocal과 DIC(미분간섭) 광학계 조합으로 미세한 형상 구조를 High Contrast로 관찰(Option)

편리한 측정기능

높이측정(Height)

■정밀도 : ±（ 0 .11+ L/100）μm

■재현성 : σ = 0.01μm

표면조도(Surface Roughness)

JIS, ISO 규격에 의거한 표면조도 측정

비접촉 방식으로 샘플의 재질에 상관없이 측정이 가능

■2차원 조도 : Ra, Rz, Rp, Rv… 등

■3차원 조도 : Sa, Sz, Sp, Sv… 등

선폭측정(Width and Pitch)

업계 최고 수준의 정밀도 및 재현성 실현

■정밀도 : ±[0.02x(100/대물렌즈 배율)+L/1000]μm

■재현성 : 3σ = 0.01μm

표면형상 분석 및 측정(Analysis of geometric properties)

면적, 체적, 표면적 등 20여 항목이 넘는 기하 측정이 가능

6파장 선택 기능(Option)

6가지 파장에서 샘플에 최적의 파장을 선택하여 관찰

436nm, 486nm, 514nm, 546nm, 578nm, 633nm의 6파장